此外，螺纹靶夹和阳极屏蔽层可形成一个紧凑的圆形磁控管头。这使得 Angstrom Sciences 的圆形磁控管能够安装在狭窄的真空室中，并且与传统磁控管的表面积相比，可以溅射更大的衬底。
间接冷却磁控管推荐用于低功率应用，是研究和开发应用的理想工具。
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详细介绍
| 品牌 | 其他品牌 | 供货周期 | 现货 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 综合 |
美国Angstrom Sciences 圆形磁控管阴极
只要在结构中纳入特定的设计标准，Angstrom Sciences 高功率射频圆形磁控管就可以在研发和生产应用中成功实施。
Angstrom Sciences 高功率射频圆形磁控管可直接冷却，外径为2英寸-8英寸。
因为射频功率在高频下工作，所以磁控溅射阴极的设计必须能够控制这种功率。Angstrom Sciences的高功率射频磁控管设计用于在目标表面均匀地传递射频能量，同时提供低反射功率和射频限制。
高功率射频磁控管有圆形和线性两种配置。
美国Angstrom Sciences 圆形磁控管阴极
间接冷却磁控管在圆阴极的冷却水和溅射靶材之间包含一个中间壁。该壁形成水真空密封，防止目标被“溅射"时可能发生的泄漏。
Angstrom Sciences 的 1“- 4" （25mm-100mm） 间接冷却圆形磁控管包含一个螺纹靶夹和阳极屏蔽罩，可根据不同厚度的溅射靶材进行调整。螺纹设计上的目标更改既快速又简单，不需要辅助工具或设备。
描述
此外，螺纹靶夹和阳极屏蔽层可形成一个紧凑的圆形磁控管头。这使得 Angstrom Sciences 的圆形磁控管能够安装在狭窄的真空室中，并且与传统磁控管的表面积相比，可以溅射更大的衬底。
间接冷却磁控管推荐用于低功率应用，是研究和开发应用的理想工具。
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