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详细介绍
| 品牌 | 其他品牌 | 应用领域 | 电子,航天,电气,综合 |
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美国 Nonsequitur 离子枪 真空 1403
美国 Nonsequitur 离子枪 真空 1403
高亮度电子冲击源，可最大限度地去除块状材料
发射调节轰击提供稳定的离子电流，前面板可调节动态范围 x300
可调光斑尺寸从 20 毫米到 > 1 毫米，用于空间定义溅射
连续可变的离子束能量，最高可达 5keV
利用光束弯曲光学器件抑制中性物质
用于 TOF SIMS 的光束消隐功能
集成的束流监测功能
可更换的光束微调孔径，典型使用寿命大于 500 小时
双灯丝提供操作备份，灯丝寿命一般大于 500 小时
内部离子源压力传感器可监测离子源压力
所有 UHV 兼容和抗蚀刻材料均用于制造
预瞄准透镜偏转可缩小光斑尺寸
差分泵送，最大限度地减少主腔气体负荷
可在各种惰性气体范围内工作
参数信息
工作距离 35 毫米
中性物质抑制 3° 静电弯曲光学器件
光束能量 ≤ 5keV 连续可变
光栅尺寸 4 x 4 毫米（最小值）
安装法兰 70 毫米（2.75 英寸）外径 CF
差分泵 70 毫米（2.75 英寸）外径 CF
供气入口 34 毫米（1.33 英寸）外径 CF
源气体 He、Ne、Ar、Kr、Xe
烘烤温度 最高 150 °C
Duoplasmatron Duoplasmatron Equavalent Ion Guns Model 1402 Model 1403 TOF/SIMS Model 1403Cs - Cesium/Alkali Ions Model 1404 Model 1407 Model 1420 Model 1450 Nonsequitur SIMS 二次离子质谱 双等离子发射器 真空测试 真空系统 真空腔 真空表面化学实验 离子枪 离子源 聚焦离子源 表面分析仪器
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