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详细介绍
| 品牌 | 其他品牌 | 应用领域 | 电子,航天,电气,综合 |
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Nonsequitur 20kV 离子枪 离子源 真空 1420
Nonsequitur 20kV 离子枪 离子源 真空 1420
20kV 离子枪
可调光斑尺寸 ≥ 5 微米，用于空间定义溅射或植入
发射调节轰击提供稳定的离子电流
连续可变的束流能量 5kV 至 20kV
用于束扫描和散光校正的双倍极
预目标扫描可缩小光斑尺寸
没有灯丝与样品的直接视线，以避免样品污染
客户可更换灯丝和光束微调孔
双灯丝可在灯丝寿命终止时提供运行备份
所有 UHV 兼容和抗蚀刻材料均用于制造
差分泵送，最大限度地减少主室气体负荷
可在惰性气体和氮气范围内运行
模式 光斑尺寸 (µM FWHM) 光束电流 (µA) 电流密度 (A/cm²)
小光斑 8 0.5 1
中型光斑 15 5 2.8
大光斑 40 20 1.5
Duoplasmatron Duoplasmatron Equavalent Ion Guns Model 1402 Model 1403 TOF/SIMS Model 1403Cs - Cesium/Alkali Ions Model 1404 Model 1407 Model 1420 Model 1450 Nonsequitur SIMS 二次离子质谱 双等离子发射器 真空测试 真空系统 真空腔 真空表面化学实验 离子枪 离子源 聚焦离子源 表面分析仪器
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